现代化液晶工厂洁净空调监控系统的建立

随着当今科技的飞速发展,先进的半导体生产工厂,将不再使用传统的运行方式以及日常设备维护的方法。为了能够将设备的运行效率提高,大部分的现代化工厂都开始建立属于自己的一套以现场总线、设备总线与以太网通信网络为基础的监控系统。SCADA监控系统,就是这样一种集数据采集、远程控制和监视为一体的系统。本文将对该系统在现代化液晶工厂洁净室中的应用进行简要的介绍。