压电驱动FSM的动态性能分析

快速倾斜镜(FSM)常用作光束控制的执行装置,很多场合都要求其具有优秀的动态性能。利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析。对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试,分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和机械谐振特性,发现加固层和结构摩擦作用下激发出的压电堆叠弯曲模态也是FSM动态性能的制约因素。