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| 压电驱动FSM的动态性能分析 | |
| 引用本文： | 周辉,杨明冬,贾建军,王建宇.压电驱动FSM的动态性能分析[J].科学技术与工程,2013(18):5168-5171. |
| 作者姓名： | 周辉 杨明冬 贾建军 王建宇 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程重大项目(KGCX1-YW-16)课题资助 |
| 摘 要： | 快速倾斜镜(FSM)常用作光束控制的执行装置,很多场合都要求其具有优秀的动态性能。利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析。对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试,分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和机械谐振特性,发现加固层和结构摩擦作用下激发出的压电堆叠弯曲模态也是FSM动态性能的制约因素。 |
| 关 键 词： | 快速倾斜镜 压电堆叠 频率特性 动态模型 有限元分析 |
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