氢化非晶硅碳薄膜(a—Si_(1-x)C_x:H)的红外分析期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

氢化非晶硅碳薄膜(a—Si_(1-x)C_x:H)的红外分析

作者姓名：	张仿清刘智张南屏陈光华

作者单位：	甘肃省测试中心

摘要：	本文主要介绍了用辉光放电法和高频溅射法制备的a—Si_(1-x)C_x∶H薄膜的红外光谱,着重对其中几个主要吸收区进行了分析和讨论。
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