| 同步辐射球面闪耀光栅的研制 |
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| 引用本文： | 徐向东,洪义麟,霍同林,周洪军,陶晓明,傅绍军,张允武. 同步辐射球面闪耀光栅的研制[J]. 中国科学技术大学学报, 2000, 30(2): 248-250 |
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| 作者姓名： | 徐向东 洪义麟 霍同林 周洪军 陶晓明 傅绍军 张允武 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
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| 基金项目： | 211重点学科建设经费资助项目!(同步辐射光学实验室建设 ) |
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| 摘 要： | 球面闪耀光栅是国家同步辐射实验室光化学光束线中 1米Ｓｅｙａ Ｎａｍｉｏｋａ单色仪中最重要的色散光学元件 .用于真空紫外波段同步辐射光束线中的球面闪耀光栅的特点是基坯体积大 (直径 6 3.5ｍｍ ,曲率半径 1 0 0 0ｍｍ ,厚 1 3.5ｍｍ) ,闪耀角小 ( 0 .3°～ 8°) .我们曾研制过表面镀铝的熔石英球面闪耀光栅 ,受检测手段的限制 ,最终的结果不太理想[1] .本文引入反应离子刻蚀进行光刻胶灰化处理新技术 ,成功地制作了每毫米 1 2 0 0线、闪耀波长为 1 30ｎｍ的锯齿槽形光栅 .这一闪耀光栅已达到实用水平并替代价格昂贵的进口光栅 .1 球…
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| 关 键 词： | 闪耀光栅 离子束刻蚀 光刻胶灰化 真空紫外 |
Fabrication of Spherical Blazed Grating for Synchrotron Radiation |
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| XU Xiang-dong,HONG Yi-lin,HUO Tong-lin,ZHOU Hong-jun,TAO Xiao-ming,FU Shao-jun,ZHANG Yun-wu. Fabrication of Spherical Blazed Grating for Synchrotron Radiation[J]. Journal of University of Science and Technology of China, 2000, 30(2): 248-250 |
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| Authors: | XU Xiang-dong HONG Yi-lin HUO Tong-lin ZHOU Hong-jun TAO Xiao-ming FU Shao-jun ZHANG Yun-wu |
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| Abstract: | A spherical blazed grating (SBG) of 1200l/mm was successfully fabricated for the Seya Namioka monochromator of photochemistry experiment station at National Synchrotron Radiation Laboratory with the holographic ion beam technique. In addition to the general process, the photoresist ashing technique is developed for achieving good quality gratings. |
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| Keywords: | blazed grating ion beam etching photoresist ashing VUV |
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