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集成工艺新进展微细加工与束技术

作者姓名：	柳襄怀

作者单位：	中国科学院上海冶金研究所

摘要：	大规模与超大规模集成电路在现代科学技术中占有人所共知的重要地位,利用束技木来制造集成电路是集成工艺中值得注意的发展方向,本期柳襄怀同志一文对此作了比较全面的介绍。
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