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稀土Er掺杂Ⅲ—V半导体发光材料的制作
作者姓名:王飞武
作者单位:河海大学机械学院基础课部
摘    要:本文报道采用离子注入法在Ⅲ—V半导体(GaAs,InP)中掺Er,用优良退火技术可得到效果较好的光致发光材料.

关 键 词:离子注入  退火  光致发光材料
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