| 超精密车床激光测量误差补偿系统的研制 |
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| 引用本文： | 汪建新 董申. 超精密车床激光测量误差补偿系统的研制[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 1999, 32(1): 65-68 |
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| 作者姓名： | 汪建新 董申 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密仪器与光电子工程学院 [2]哈尔滨工业大学 |
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| 摘 要： | 详细分析了激光测量系统测量误差产生的原因，并提出了补偿测量误差的方法，进而建立了ＨＣＭ－Ｉ型超精密车床激光测量误差补偿系统。系统分辨率为０．０１μｍ。
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| 关 键 词： | 超精密车床 激光测量 误差补偿系统 HCM－I型 |
DEVELOPMENT OF ERROR COMPENSATE SYSTEM OF LASER MEASUREMENT FOR ULTRA PRECISE LATHE |
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| Wang Jianxin Zhang Guoxiong. DEVELOPMENT OF ERROR COMPENSATE SYSTEM OF LASER MEASUREMENT FOR ULTRA PRECISE LATHE[J]. Journal of Tianjin University(Science and Technology), 1999, 32(1): 65-68 |
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| Authors: | Wang Jianxin Zhang Guoxiong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultra precise lathe laser measurement error compensation |
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