| 耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪 |
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| 引用本文： | 赵美蓉,陆伯印.耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),1999,32(6):665-667. |
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| 作者姓名： | 赵美蓉 陆伯印 |
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| 作者单位： | 天津大学!精密测试技术及仪器国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用，该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”，其结构简洁紧凑，性能稳定，光路布局对称性好，不存在死光程，光程差倍增，容易装调，符合阿贝原则和结构变形最小原则，在１０ｍｍ测量范围内，获得了λ／８００的分辨力和纳米级的测量精度。
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| 关 键 词： | 纳米计量 位移测量 激光干涉仪 纳米级精度 |
COUPLED DIFFERENTIAL LASER DISPLACEMENT MEASUREMENT INTERFEROMETER WITH NANOMETRIC RESOLUTION |
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| Zhao Meirong,Lu Boyin,Jia Guoxin.COUPLED DIFFERENTIAL LASER DISPLACEMENT MEASUREMENT INTERFEROMETER WITH NANOMETRIC RESOLUTION[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),1999,32(6):665-667. |
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| Authors: | Zhao Meirong Lu Boyin Jia Guoxin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanometrology laser displacement measurement differential interferometry laser interferometer |
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