| 空心阴极重离子源的研究 |
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| 引用本文： | 赵文涛 亢孝俭. 空心阴极重离子源的研究[J]. 西安交通大学学报, 1991, 25(2): 57-60,82 |
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| 作者姓名： | 赵文涛 亢孝俭 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系(赵文涛)，西安交通大学电子工程系(亢孝俭) |
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| 摘 要： | 本文对一台空心阴极重离子源的放电参数、引出参数之间关系进行了理论分析及详细测量,从中找出离子源最佳的工作状态。文中得到的结论适用于等离子体离子源。调试结果,本离子源稳定地工作于引出总束流强度为0.5-1.0mA,归一化亮度≥2×10~9A/m~2·rad~2,等离子体密度为10~(11)～10~(12)cm~(-3),电子温度为5～10eV,能散度≤40eV。
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| 关 键 词： | 离子源 发射面 等离子体 电子温度 |
THE STUDY OF THE HOLLOW CATHODE HEAVY ION SOURCE |
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| Zhao Wentao,Kang Xiaojian. THE STUDY OF THE HOLLOW CATHODE HEAVY ION SOURCE[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 1991, 25(2): 57-60,82 |
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| Authors: | Zhao Wentao Kang Xiaojian |
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| Affiliation: | Zhao Wentao;Kang Xiaojian Department of Electronic Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion sources brightness Langmuir probe emission surface electron temperature |
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