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| 电化反应生成LiTaO_3薄膜及器件 | |
| 引用本文： | 刘寓中.电化反应生成LiTaO_3薄膜及器件[J].科学通报,1981,26(5):268-268. |
| 作者姓名： | 刘寓中 |
| 作者单位： | 华北光电研究所 |
| 摘 要： | 热电器件的理论分析指出,减薄晶片厚度将提高器件性能,从而导致对减薄技术的广泛研究,其中有激光蒸发T.G.S.,高频溅射ZnO,PZT等等,而最好的热电材料之——LiTaO_3已报道用离子束研磨、高频溅射、滚轧淬火等方法获得单晶或多晶薄膜。 |
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