| 铜钨(钼)薄膜的制备及应用 |
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| 引用本文： | 李英.铜钨(钼)薄膜的制备及应用[J].东莞理工学院学报,2005,12(1):20-24. |
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| 作者姓名： | 李英 |
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| 作者单位： | 广东医学院物理教研室,广东,东莞,523808 |
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| 摘 要： | 文章介绍了近年来铜钨(钼)薄膜涂层的制备方法,简单分析了薄膜的结构特征和应用,展望了未来的研究方向和应用前景.
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| 关 键 词： | 薄膜 制备 应用 溅射 热控制 |
| 文章编号： | 1009-0312(2005)01-0020-05 |
| 修稿时间： | 2004年12月28 |
Preparations and Applications of Cu-W(Mo) thin Films |
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| Li Ying.Preparations and Applications of Cu-W(Mo) thin Films[J].Journal of Dongguan Institute of Technology,2005,12(1):20-24. |
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| Authors: | Li Ying |
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| Abstract: | This paper introduces the methods of recent years for making preparations of Cu-W (Mo) thin films, with a brief analysis of their structure characteristics and applications.The future development and prospects of Cu-W (Mo) thin films are reviewed as well. |
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| Keywords: | thin film preparations applications sputtering thermal management |
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