摘 要: | 通过在不同的氧分压条件下退火锰钴镍三元合金薄膜,成功制备出Mn_(1.56)Co_(0.96)Ni_(0.48)O_(4±δ)(MCN)尖晶石薄膜.详细探究了氧的非化学计量对MCN薄膜性能的影响.当退火氧分压从10 kPa增加至90 kPa时,MCN薄膜的结晶度获得提高;薄膜表面的吸附氧由10 kPa时的61.6%减少至90 kPa时的29.2%;同时,室温电阻率由10 kPa时的183.0 MΩ迅速下降至90 kPa时的6.9 MΩ.这表明MCN薄膜中氧化学计量对薄膜的电学性能有至关重要的作用. MCN薄膜的光吸收表明Mn的阳离子浓度随退火过程中氧分压的增加而相应提高.
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