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In_(1-x)Ga_xAs/InP多量子阱结构的LP-MOVPE生长
引用本文:祝进田,杨树人,陈佰军,胡礼中,王本中,刘宝林,王志杰,刘式墉. In_(1-x)Ga_xAs/InP多量子阱结构的LP-MOVPE生长[J]. 吉林大学学报(理学版), 1993, 0(1)
作者姓名:祝进田  杨树人  陈佰军  胡礼中  王本中  刘宝林  王志杰  刘式墉
作者单位:集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023,吉林大学电子科学系,长春 130023
摘    要:本文报导了在低温、低压下,以三甲基镓(TMG)、三乙基铟(TEI)为Ⅲ族源材料,100%砷烷(AsH_3)、100%磷烷(PH_3)为V族源材料,用金属有机化合物气相沉积技术在(100)InP衬底上生长出In_(1-x)Ga_xAs/InP多量子阱结构材料.X光摇摆曲线观测到由于周期性多量子阱结构而产生的多级卫星峰,光致发光测量给出了不同阱宽下由量子阱尺寸效应而导致的PL谱.

关 键 词:三甲基镓  三乙基铟  量子阱结构

LP-MOVPE Growth of In_1-xGa_xAs/InP Multiquantum Trap Structure
Zhu Jintian,Yang Shuren,Chen Baijun,Hu Lizhong,Wang Benzhong,Liu Baolin,Wang Zhijie,Liu Shiyong. LP-MOVPE Growth of In_1-xGa_xAs/InP Multiquantum Trap Structure[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 1993, 0(1)
Authors:Zhu Jintian  Yang Shuren  Chen Baijun  Hu Lizhong  Wang Benzhong  Liu Baolin  Wang Zhijie  Liu Shiyong
Abstract:
Keywords:trimethylgallium   triethylindium   quantum well structure
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