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| 脉冲激光淀积制备LiTaO3光波导薄膜的研究 | |
| 作者姓名： | 刘俊明 刘治国 |
| 摘 要： | 报道了利用准分子脉冲激光淀积技术在（００１）和（０１２）蓝宝石衬底上制备ＬｉＴａＯ３光波导薄膜的实验研究。利用Ｘ光衍射和Ｒａｍａｎ光谱术鉴定所生长薄膜的微结构，研究了脉冲能量、衬底温度、氧分压和淀积室几何等因素对薄膜质量的影响。结果表明脉冲能量和衬底温度对薄膜生长的择优取向有很大影响，而氧分压和淀积室的几何配置主要影响薄膜的生长动力学。在合适的工艺条件下制备了优质的外延膜，薄膜显示了优异的光波导性 |
| 关 键 词： | LiTaO3 光波导 脉冲激光淀积 薄膜 制备 |
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