| 晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真 |
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| 引用本文： | 潘春荣,伍乃骐. 晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真[J]. 系统仿真学报, 2009, 21(2) |
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| 作者姓名： | 潘春荣 伍乃骐 |
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| 作者单位： | 1. 广东工业大学机电工程学院,广州,510006;汕头大季工学院,汕头,515063
2. 广东工业大学机电工程学院,广州,510006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，广东省科技计划项目 |
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| 摘 要： | 对于单臂的Clustertool,由于晶圆驻留时间的约束和作业时间的波动性,还没有解析的方法能够验证其调度的可行性和有效的调度方法.介绍了晶圆制造过程并基于Petri网模型,利用eM-Plant仿真平台建立了相应的晶圆制造的仿真模型.通过实例说明仿真模型能够虚拟单臂的Clustertool、准确地仿真单臂的Clustertool的晶圆制造模式;晶圆制造的仿真模型为研究其调度可行性分析和控制器设计提供了一种有效的手段.
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| 关 键 词： | 晶圆制造 调度 建模与仿真 |
Modeling and Simulation of Single-arm Cluster Tool in Wafer Fabrication |
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| PAN Chun-rong,WU Nai-qi. Modeling and Simulation of Single-arm Cluster Tool in Wafer Fabrication[J]. Journal of System Simulation, 2009, 21(2) |
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| Authors: | PAN Chun-rong WU Nai-qi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cluster tool |
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