| 利用AFM电场诱导氧化实现纳米结构 |
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| 引用本文： | 胡晓东 胡小唐 等. 利用AFM电场诱导氧化实现纳米结构[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 2001, 34(2): 150-153 |
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| 作者姓名： | 胡晓东 胡小唐 等 |
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| 作者单位： | [1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津3000 [2]天津大学精密测试技术及仪器国 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59675082)；天津市自然科学基金资助项目(963609811). |
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| 摘 要： | 利用导电原子力显微镜（AFM）在硅、其它半导体和金属表面的电场诱导氧化加工是实现纳米器件的有效方法。大气状态下样品表面吸附的水膜在电场诱导氧化加工中的必要性被证实，实验给出了相对湿度与氧化线宽度的关系。在氢钝化表面成功地制备出纳米尺度的线和图形结构，最小的线宽为22nm。
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| 关 键 词： | 导电原子力显微镜 电场诱导氧化 纳米加工 纳米器件 纳米结构 偏置电压 相对湿度 |
| 文章编号： | 0493-2137（2001）02-0150-04 |
| 修稿时间： | 2000-01-24 |
NANOMETER-SCALE OXIDATION STRUCTURES PRODUCEDBY CONDUCTIVE ATOMIC FORCE MICROSCOPE |
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| HU Xiao-dong,HU Xiao-tang,CHEN Jin-ping. NANOMETER-SCALE OXIDATION STRUCTURES PRODUCEDBY CONDUCTIVE ATOMIC FORCE MICROSCOPE[J]. Journal of Tianjin University(Science and Technology), 2001, 34(2): 150-153 |
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| Authors: | HU Xiao-dong HU Xiao-tang CHEN Jin-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | atomic force microscope field-induced anodization nanofabrication nanometer-scale device |
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