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| IBM公司的电子束系统能印制1微米的线条 | |
| 引用本文： | 峻崖.IBM公司的电子束系统能印制1微米的线条[J].系统工程与电子技术,1980(2). |
| 作者姓名： | 峻崖 |
| 摘 要： | IBM公司的能印制1微米线条的电子束制版系统是一项技术成就,它使该公司的1微米基片工艺成为可能。而使用普通的光学制版法,由于各种干扰影响很难得到这样窄的线条。 在沃森研究中心研制的实验系统称为矢量扫描系统。大多数的扫描系统是在光栅上扫描——即对被扫描区进行直线横向扫描。例如,电视屏幕上的图象就是由光栅扫描产 |
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