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分类号
杂志ISSN号
基于NiTi形状记忆合金精密微泵的设计
作者姓名:
曹金辉
王波林
叶超
王欢
作者单位:
南昌工程学院;
摘 要:
形状记忆合金(SMA)作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统(MEMS)中。此次研究是一种新型有阀微泵的设计。该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采用钢珠-弹簧作为单向阀的有阀微泵,钢珠和弹簧直径都为5mm,泵腔为直径10mm高为15mm的有机玻璃圆柱体。
关 键 词:
形状记忆合金
钢珠-弹簧
微驱动薄膜
微泵
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