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| 基于NiTi形状记忆合金精密微泵的设计 | |
| 作者姓名： | 曹金辉 王波林 叶超 王欢 |
| 作者单位： | 南昌工程学院; |
| 摘 要： | 形状记忆合金(SMA)作为新型功能材料已广泛用于各种微电子机械系统(MEMS)中。此次研究是一种新型有阀微泵的设计。该微泵的结构简单,采用NiTi形状记忆合金薄膜作为微驱动薄膜,采用钢珠-弹簧作为单向阀的有阀微泵,钢珠和弹簧直径都为5mm,泵腔为直径10mm高为15mm的有机玻璃圆柱体。 |
| 关 键 词： | 形状记忆合金 钢珠-弹簧 微驱动薄膜 微泵 |
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