| 中频反应磁控溅射制备具有光致亲水性TiO2薄膜 |
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| 引用本文： | 段永利,许生,巴德纯,范垂祯. 中频反应磁控溅射制备具有光致亲水性TiO2薄膜[J]. 辽宁工程技术大学学报(自然科学版), 2007, 26(4): 584-587 |
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| 作者姓名： | 段永利 许生 巴德纯 范垂祯 |
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| 作者单位： | 东北大学,机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004;深圳豪威真空光电子股份有限公司,广东,深圳,518057 |
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| 基金项目： | 国家863课题基金资助项目(2004AA303540) |
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| 摘 要： | 采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使薄膜获得理想的化学配比和较高的沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控制。对部分样品进行了退火处理。利用台阶仪测膜厚,X射线衍射(XRD)对薄膜的沉积速率及结构进行测试分析,并对部分沉积态和经过热处理的薄膜样品进行了透光性测试和光照实验。研究了温度,PEM工作点等不同工艺条件对薄膜光致亲水性等性能的影响。部分薄膜经过1h左右的紫外光照射,得到了很好的亲水性效果,其表面的水接触角达到了小于1°的水平。
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 中频 亲水性 PEM 反应溅射 退火 |
| 文章编号： | 1008-0562（2007）04-0584-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-08 |
Preparation of light-induced hydrophilic TiO2 thin films by reactive mid-frequency magnetron sputter |
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| DUAN Yong-li,XU Sheng,BA De-chun,FAN Chui-zhen. Preparation of light-induced hydrophilic TiO2 thin films by reactive mid-frequency magnetron sputter[J]. Journal of Liaoning Technical University (Natural Science Edition), 2007, 26(4): 584-587 |
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| Authors: | DUAN Yong-li XU Sheng BA De-chun FAN Chui-zhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 thin films mid-frequency hdrophilicity PEM reactive magnetron sputtering annealing |
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