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利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究
引用本文:周礼中,古桥秀夫,内田悦行. 利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究[J]. 扬州大学学报(自然科学版), 1999, 2(4): 72-74
作者姓名:周礼中  古桥秀夫  内田悦行
作者单位:1. 扬州大学教务处,扬州,225009
2. 日本爱知工业大学情报工学科
摘    要:在分析利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法的基础上,提出了精密定位的粗控、微控两段复合式控制方法,实现了装置宽范围控制的精密定位高业度及精密定位时间的缩短,对加快集成电路制造技术的进步有重要的参考价值。

关 键 词:激光莫尔信号 精密定位 复合控制 集成电路 制备

THE RESEARCH ON COMPOUND CONTROL OVER PRECISION POSITIONING BY THE APPLICATION OF MORIE SIGNALS
Zhou Lizhong,Furuhashi Hideo,Uchida Yoshiyuki. THE RESEARCH ON COMPOUND CONTROL OVER PRECISION POSITIONING BY THE APPLICATION OF MORIE SIGNALS[J]. Journal of Yangzhou University(Natural Science Edition), 1999, 2(4): 72-74
Authors:Zhou Lizhong  Furuhashi Hideo  Uchida Yoshiyuki
Abstract:
Keywords:
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