| 利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究 |
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| 引用本文： | 周礼中,古桥秀夫,内田悦行. 利用激光莫尔信号精密定位的复合控制研究[J]. 扬州大学学报(自然科学版), 1999, 2(4): 72-74 |
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| 作者姓名： | 周礼中 古桥秀夫 内田悦行 |
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| 作者单位： | 1. 扬州大学教务处,扬州,225009
2. 日本爱知工业大学情报工学科 |
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| 摘 要： | 在分析利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法的基础上，提出了精密定位的粗控、微控两段复合式控制方法，实现了装置宽范围控制的精密定位高业度及精密定位时间的缩短，对加快集成电路制造技术的进步有重要的参考价值。
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| 关 键 词： | 激光莫尔信号 精密定位 复合控制 集成电路 制备 |
THE RESEARCH ON COMPOUND CONTROL OVER PRECISION POSITIONING BY THE APPLICATION OF MORIE SIGNALS |
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| Zhou Lizhong,Furuhashi Hideo,Uchida Yoshiyuki. THE RESEARCH ON COMPOUND CONTROL OVER PRECISION POSITIONING BY THE APPLICATION OF MORIE SIGNALS[J]. Journal of Yangzhou University(Natural Science Edition), 1999, 2(4): 72-74 |
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| Authors: | Zhou Lizhong Furuhashi Hideo Uchida Yoshiyuki |
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