| 柔性压阻碳复合膜的制备及其特性 |
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| 引用本文： | 王鹏,徐峰,丁天怀,覃元臻.柔性压阻碳复合膜的制备及其特性[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(11):1480-1482. |
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| 作者姓名： | 王鹏 徐峰 丁天怀 覃元臻 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为研究柔性力敏传感器,以碳纳米粉为导电相,硅橡胶和有机树脂为绝缘相,在聚酰亚胺基底材料上制备了一种新型的柔性碳复合膜,其金属电极和引线用MEMS工艺制备。实验研究表明:在0～1MPa范围内这种碳复合膜的导电特性随正向应变发生显著变化;在0～0.7MPa范围内表现近似线性的压阻关系,并具有良好的温度稳定性。用这种碳复合膜制备的力敏元件不受被测物体表面形状的限制,可以被广泛应用于各种规则和不规则曲面的挤压应力测量。
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| 关 键 词： | 柔性碳复合膜 压阻效应 挤压应力 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)11-1480-03 |
| 修稿时间： | 2003年2月28日 |
Preparation and characteristics of flexible carbon composite film |
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| WANG Peng,XU Feng,DING Tianhuai,QIN Yuanzhen.Preparation and characteristics of flexible carbon composite film[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(11):1480-1482. |
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| Authors: | WANG Peng XU Feng DING Tianhuai QIN Yuanzhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | carbon composite film piezoresistivity squeeze stress |
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