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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
p型Al/6H-SiC肖特基二极管特性的研究
作者姓名:
罗小蓉
廖伟
廖勇明
洪根深
龚敏
作者单位:
四川大学物理学系
摘 要:
作者研究了p型Al/6H -SiC肖特基二极管的基本制作工艺及其电学参数 .采用电流 -电压法 (I~V) ,测试了肖特基二极管的理想因子n和肖特基势垒高度b.对其基本电学参数n和b 的温度特性进行了研究 .分析了串联电阻对I~V特性的影响 .
关 键 词:
6H碳化硅
肖特基二极管
宽禁带半导体
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