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p型Al/6H-SiC肖特基二极管特性的研究
作者姓名:罗小蓉  廖伟  廖勇明  洪根深  龚敏
作者单位:四川大学物理学系
摘    要:作者研究了p型Al/6H -SiC肖特基二极管的基本制作工艺及其电学参数 .采用电流 -电压法 (I~V) ,测试了肖特基二极管的理想因子n和肖特基势垒高度b.对其基本电学参数n和b 的温度特性进行了研究 .分析了串联电阻对I~V特性的影响 .

关 键 词:6H碳化硅  肖特基二极管  宽禁带半导体
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