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PZT／Si异质结的电特性研究

引用本文：	于军,周文利.PZT／Si异质结的电特性研究[J].华中理工大学学报,1996,24(5):79-81.

作者姓名：	于军周文利

作者单位：	固体电子学系

摘要：
关键词：	铁电薄膜自偏夺民质结 Sol－Gel工艺电特性
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