|
|||||
|
|
| SIPOS／Si结构的界面特性 | |
| 引用本文： | 曹广军,徐彦忠.SIPOS／Si结构的界面特性[J].华中理工大学学报,1996,24(3):74-75. |
| 作者姓名： | 曹广军 徐彦忠 |
| 摘 要： | 采用红外吸收光谱分析了ＳＩＰＯＳ薄膜中Ｓｉ－Ｏ键的结构，对比了热退火、快速灯光退火对ＳＩＰＯ中Ｓｉ－Ｏ键结构的影响，并结合ＳＩＰＯ／Ｓｉ结构的Ｃ－Ｖ，Ｉ－Ｖ测试结果，对其界面特性进行了分析。 |
| 关 键 词： | 界面特性 半导体薄膜 SIPOS薄膜 Si－O键 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |