首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     检索      

基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究
引用本文:张鸿海,曹伟.基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究[J].华中理工大学学报,1996,24(4):4-7.
作者姓名:张鸿海  曹伟
摘    要:介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的nm级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达0.02nm,横向分辨率可达0.2nm,扫描范围分别达到40μm×40μm和140μm×140μm。

关 键 词:超精密测量  nm级形貌  隧道效应  三维轮廓仪
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号