表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟 |
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引用本文: | 汪超男,李爱玲,周有铮,王喆垚,刘理天.表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟[J].清华大学学报(自然科学版)网络.预览,2009(11). |
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作者姓名: | 汪超男 李爱玲 周有铮 王喆垚 刘理天 |
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摘 要: | 为获得用于表面应力测量的压阻悬臂梁传感器的参数的优化方法,建立了有限元分析模型。通过将模拟结果与压阻理论结合,分析了表面应力作用下的压阻式微型悬臂梁传感器。建立了两层硅悬臂梁结构模型,在顶层硅内施加初始应力模拟表面应力。对仿真结果应力数据进行提取与计算,结合压阻系数,分析了n型硅压阻与p型硅压阻长度、宽度和位置等对微型悬臂梁传感器灵敏度的影响。结果表明:为获得较高灵敏度,n型硅压阻应做长,p型硅压阻应做短并安排在固定端。该文研究结果为悬臂梁生化传感器提供了设计参考。
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