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大芯径掺硼应力预制棒的制备
引用本文:赵国骁,王东波,田海生.大芯径掺硼应力预制棒的制备[J].天津科技,2013(2):27-28.
作者姓名:赵国骁  王东波  田海生
作者单位:中国电子科技集团公司第46研究所 天津300220
摘    要:介绍了MCVD工艺制作掺硼应力预制棒的工艺过程,针对大芯径掺硼预制棒的发展需求开展了工艺试验,在现有设备技术条件下进行了工艺改进,制备出了大芯径掺硼应力预制棒。

关 键 词:MCVD  应力预制件  硼掺杂  保偏光纤
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