| 多晶金刚石薄膜的开关特性 |
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| 引用本文： | 沈书泊张兵临何金田王建恩.多晶金刚石薄膜的开关特性[J].科学通报,1992,37(17):1563-1563. |
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| 作者姓名： | 沈书泊张兵临何金田王建恩 |
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| 作者单位： | 郑州大学物理系，河南省基础及应用科学研究所，美国Iowa州立大学微电子研究中心，美国Iowa州立大学微电子研究中心，美国Iowa州立大学微电子研究中心 郑州 450052，郑州 450003 |
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| 摘 要： | 开关现象在一些片状和薄膜半导体样品中早巳观察到.但是,迄今为止,尚未见到有关金刚石薄膜开关特性的报道.鉴于金刚石薄膜有着许多优异的电学特性,如有较宽的能带间隙、高的击穿电压、高的电子迁移率以及高的饱和电子速度,因而,金刚石薄膜开关特性的研究,无疑会对实现高压、大功率开关器件有重要应用价值.我们研究了无衬底多晶金刚石薄膜的电流(I)-电压(U)特性.发现,金刚石薄膜在液氮温度和常温下有明显的开关特性,而液氮温度下的开关特性还具有明显的双稳态特点.
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| 关 键 词： | 多晶金刚石薄膜 开关特性 双稳态 |
| 收稿时间： | 1992-02-25 |
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