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离子束蚀刻硅片沟槽台阶形貌研究

引用本文：	张建民,王国瑞.离子束蚀刻硅片沟槽台阶形貌研究[J].陕西师大学报,1991,19(1):89-90.

作者姓名：	张建民王国瑞

摘要：
关键词：	离子束蚀刻硅片沟槽台阶形貌
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