M(Au、Ag、Ti)/TiO_2/Pt器件的电致阻变性质

该文分析了不同的类型的金属顶电极对TiO_2薄膜电致阻变效应的影响,通过对器件I-V曲线的分析,发现器件Au/TiO_2/Pt和Ag/TiO_2/Pt具有稳定的电致阻变性质,且Ag/TiO_2/Pt器件的置位电压和复位电压较小。相反的,器件Ti/TiO_2/Pt的电致阻变性质具有不稳定的电致阻变性质,这与Ti电极容易被氧化在界面处形成氧化物有关,界面处氧化物的形成影响了器件的电致阻变性质。结合电致阻变效应机制的分析,表明顶电极材料会影响RRAM器件的电致阻变性质。