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| 低腐蚀隧道密度压电石英晶体 | |
| 引用本文： | 韩建儒,周广勇,张树君,程振翔,陈焕矗,李昆,张宪昆,戚思柏,刘成万.低腐蚀隧道密度压电石英晶体[J].山东大学学报(理学版),2000,35(1). |
| 作者姓名： | 韩建儒 周广勇 张树君 程振翔 陈焕矗 李昆 张宪昆 戚思柏 刘成万 |
| 作者单位： | 1. 山东大学晶体材料研究所,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100 2. 山东省临沭沂光晶体厂,山东,临沭,276700 3. 山东淄博晶体材料厂,山东,淄博,255000 |
| 基金项目： | 山东省科委专项合同项目资助!( 971 1 8540 3 ) |
| 摘 要： | 小型化高频器件的发展 ,需要一些低隧道密度压电石英晶体 .本文分析了低隧道密度石英晶体的特点 ,用水热法生长了低隧道密度石英晶体 .报道了生长这种晶体的工艺条件 ,对产品的性能进行了测试 .讨论了工艺和技术条件对产品质量的影响 . |
| 关 键 词： | 腐蚀隧道 石英晶体 水热生长 高质量 |
QUARTZ CRYSTAL OF LOW ETCH CHANNEL DENSITY |
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| HAN Jian-ru,ZHOU Guang-yong,ZHANG Shu-jun,CHENG Zhen-xiang,CHEN Huan-chu,LI Kun,ZHANG Xian-Kun,QI Si-bo,LIU Cheng-wan.QUARTZ CRYSTAL OF LOW ETCH CHANNEL DENSITY[J].Journal of Shandong University,2000,35(1). | |
| Authors: | HAN Jian-ru ZHOU Guang-yong ZHANG Shu-jun CHENG Zhen-xiang CHEN Huan-chu LI Kun ZHANG Xian-Kun QI Si-bo LIU Cheng-wan |
| Abstract: | Development of a smaller size and high frequency devices need some quartz crystals that have low etch channel density.The characteristics of these crystals are analysed.The high quality crystals have been synthesized by using hydrothermal method.The technology and technical conditions of crystal growth are reported.The properties and qualities of the crystals are measured.The relations between crystalline qualities and growing conditions are discussed. |
| Keywords: | etch channel quartz crystal hydrothermal growth high quality |
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