| ZrC/ZrB2纳米多层膜的微结构和耐磨性 |
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| 引用本文： | 杨瑾,李德军. ZrC/ZrB2纳米多层膜的微结构和耐磨性[J]. 天津师范大学学报(自然科学版), 2007, 27(1): 17-19 |
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| 作者姓名： | 杨瑾 李德军 |
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| 作者单位： | 天津师范大学,物理与电子信息学院,天津,300074 |
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| 基金项目： | 天津市应用基础研究项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法在Si(100)基底上制备了一系列ZrC/ZrB2纳米多层膜和ZrC,ZrB2单层薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM),MS-T3000摩擦磨损仪及表面轮廓仪(XP-2)研究了薄膜的微结构和耐磨性.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,周期为3.52 nm的多层膜摩擦系数最小,约为0.24;ZrC/ZrB2纳米多层膜的耐磨性优于ZrC和ZrB2单层薄膜;ZrC/ZrB2多层膜耐磨性提高的主要原因是,调制结构中大量界面的存在,提高了薄膜的韧性,从而增强了薄膜的耐磨性能.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 ZrC/ZrB2纳米多层膜 微结构 耐磨性 |
| 文章编号： | 1671-1114（2007）01-0017-03 |
| 收稿时间： | 2006-10-04 |
| 修稿时间： | 2006-10-04 |
Microstructure and Wear Resistance of Nanoscale ZrC/ZrB2 Multilayered Coatings |
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| YANG Jin,LI De-jun. Microstructure and Wear Resistance of Nanoscale ZrC/ZrB2 Multilayered Coatings[J]. Journal of Tianjin Normal University(Natural Science Edition), 2007, 27(1): 17-19 |
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| Authors: | YANG Jin LI De-jun |
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| Affiliation: | College of Physcis and Electronic Information Science, Tianjin Normal University, Tianjin 300074, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering nanoscale ZrC/ZrB2 multilayers microstructure wear resistance |
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