| 空心阴极放电的阴极溅射分析 |
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| 引用本文： | 赖建军,王新兵,丘军林,余建华. 空心阴极放电的阴极溅射分析[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2001, 29(7): 72-74 |
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| 作者姓名： | 赖建军 王新兵 丘军林 余建华 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,
2. 深圳大学,科技研究院光电子系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 0 70 0 3 ) |
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| 摘 要： | 建立了空心极阴放电的二维自洽理论模型，通过阴极面上的电场、离子流和离子密度沿阴极截面的空间分布分析了放电中的阴极溅射问题，研究发现空心且极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子的不均匀分布，从理论上模拟并解释了实验观察到的阴极表面溅射一个或多个凹坑的现象。
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| 关 键 词： | 空心阴极放电 阴极溅射 自洽模型 电场 离子流 离子密度 离子激光器 |
| 文章编号： | 1000-8616(2001)07-0072-03 |
| 修稿时间： | 2001-03-15 |
Cathode Sputtering in a DC Hollow Cathode Discharge |
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| Lai Jianjun Wang Xinbing Qiu Junlin Yu Jianhua Dr., State Key Lab. of Laser Tech.,Hust,Wuhan ,China.. Cathode Sputtering in a DC Hollow Cathode Discharge[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2001, 29(7): 72-74 |
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| Authors: | Lai Jianjun Wang Xinbing Qiu Junlin Yu Jianhua Dr. State Key Lab. of Laser Tech. Hust Wuhan China. |
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| Affiliation: | Lai Jianjun Wang Xinbing Qiu Junlin Yu Jianhua Dr., State Key Lab. of Laser Tech.,Hust,Wuhan 430074,China. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hollow cathode discharge cathode sputtering self consistent model |
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