| 关于PCSA式椭偏仪测量区域的研究 |
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| 引用本文： | 王志刚,冯书文,严汉章.关于PCSA式椭偏仪测量区域的研究[J].山东大学学报(理学版),1987(1). |
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| 作者姓名： | 王志刚 冯书文 严汉章 |
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| 作者单位： | 山东大学光学系，山东大学光学系，山东大学光学系 |
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| 摘 要： | 用琼斯矩阵法讨论了PCSA式椭偏仪的测量区域问题。对四个不同测量区域,分别得到了由起偏器与检偏器的消光位置,求出椭偏角φ与⊿的公式。
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| 关 键 词： | 椭偏仪的测量区 琼斯矩阵法 |
DISCUSSION OF THE MEASURING ZONES OF PCSA ELLIPSOMETER |
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| Wang Zhigang Feng Shuwen Yah Hanzhang.DISCUSSION OF THE MEASURING ZONES OF PCSA ELLIPSOMETER[J].Journal of Shandong University,1987(1). |
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| Authors: | Wang Zhigang Feng Shuwen Yah Hanzhang |
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| Institution: | Wang Zhigang Feng Shuwen Yah Hanzhang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measuring zones of ellipsometer Johnes calculus |
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