|
|||||
|
|
| 一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路 | |
| 作者姓名： | 方然 鲁文高 陶婷婷 沈广冲 胡俊嵘 陈中建 张雅聪 于敦山 |
| 作者单位： | 北京大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 北京 100871; |
| 基金项目： | 国家公益性行业(农业)科研专项经费(200903021)资助 |
| 摘 要： | 提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。 第一步采用通用级和TIA得到低噪声C/V转换, 同时集成采样率1.25 MS/s的14位SAR-ADCs, 将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略, 模拟电路的复杂性被降低, 数字域的信号可以更精确操作。此接口适用于共振频率为3~15 kHz的MEMS 陀螺仪。此电路在0.18μm CMOS工艺流片。实验结果显示, 在3.5 kHz频率下, 输出电容的噪声密度为0.03 aF/√Hz。 |
| 关 键 词： | 电容接口电路 MEMS陀螺仪 SAR-ADC |
| 收稿时间： | 2013-04-06 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《北京大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《北京大学学报(自然科学版)》下载全文 | |