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高频等离子设备的技术应用
引用本文:王翔,高炀,黎明,高跃生.高频等离子设备的技术应用[J].科技资讯,2010(30):3-3.
作者姓名:王翔  高炀  黎明  高跃生
作者单位:贵州省正业工程技术投资有限公司,贵阳550005
摘    要:高频等离子体作为新兴的生产工艺,在很多方向有着很独特的应用,本文主要介绍了该技术在纳米粉体、球化粉体、粉体喷涂等方面的应用。

关 键 词:等离子体  纳米粉体  球化  喷涂
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