SnO2:Sb薄膜型材料的气敏性研究 |
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引用本文: | 陈俊芳,刘祖黎.SnO2:Sb薄膜型材料的气敏性研究[J].华中理工大学学报,1993,21(6):166-169. |
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作者姓名: | 陈俊芳 刘祖黎 |
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摘 要: | 研究了用轴流式等离子体化学气相沉积制备的SnO2:Sb掺杂薄膜的气敏效应。该薄膜对NO2气体有较好的气敏性,在常温下响应时间快,在170℃恢复时间可小于15s。灵敏度达6左右。还测定了SnO2:Sb薄膜对CO,H2,酒精气体以及右油液化气的气敏效应,并对以上结果进行了分析。
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关 键 词: | 掺杂 薄膜 气敏性 锑 氧化锡 |
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