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| SnO2：Sb薄膜型材料的气敏性研究 | |
| 引用本文： | 陈俊芳,刘祖黎.SnO2：Sb薄膜型材料的气敏性研究[J].华中理工大学学报,1993,21(6):166-169. |
| 作者姓名： | 陈俊芳 刘祖黎 |
| 摘 要： | 研究了用轴流式等离子体化学气相沉积制备的ＳｎＯ２：Ｓｂ掺杂薄膜的气敏效应。该薄膜对ＮＯ２气体有较好的气敏性，在常温下响应时间快，在１７０℃恢复时间可小于１５ｓ。灵敏度达６左右。还测定了ＳｎＯ２：Ｓｂ薄膜对ＣＯ，Ｈ２，酒精气体以及右油液化气的气敏效应，并对以上结果进行了分析。 |
| 关 键 词： | 掺杂 薄膜 气敏性 锑 氧化锡 |
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