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Nd:YAG晶体表面性能等离子体改性研究
引用本文:曹发祥,孔金星,杜东兴.Nd:YAG晶体表面性能等离子体改性研究[J].华南理工大学学报(自然科学版),2021,49(3):55-61.
作者姓名:曹发祥  孔金星  杜东兴
作者单位:中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所, 四川 绵阳621900
基金项目:国家自然科学基金;中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室项目
摘    要:采用自行研制的常温等离子设备,开展等离子体射流对Nd:YAG晶体表面润湿性和表面力学性能的改性试验研究.结果表明:等离子体对Nd:YAG晶体表面具有明显的改性作用,等离子体改性后3种粗糙度特征的Nd:YAG表面润湿性均获得改善,其中光滑表面由疏水转变为超亲水,且在30 h内保持良好的亲水状态,改性后Nd:YAG晶体表面...

关 键 词:等离子体  改性  Nd:YAG晶体  润湿性  纳米压痕  显微硬度
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