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| 微电容阵列检测系统的设计 | |
| 引用本文： | 葛维冬,许德章,何慧娟.微电容阵列检测系统的设计[J].新乡学院学报(自然科学版),2015(3):45-49,53. |
| 作者姓名： | 葛维冬 许德章 何慧娟 |
| 作者单位： | 安徽工程大学先进数控和伺服驱动技术安徽省重点实验室;安徽工程大学机器人产业技术研究院 |
| 摘 要： | 通过实验分析了电容读取芯片MS3110P各项性能指标,并设计了一款能自适应匹配模拟开关产生的电荷注入效应的P控制器;开发出一款具有单电容阵列测量模式和差分电容阵列测量模式的微电容阵列检测电路,并探讨了其寄生电容产生的原因。测试结果表明,该检测电路克服了各种寄生电容对传感器的影响,提高了测量精度,能够应用于MEMS触觉传感器微电容阵列的测量。 |
| 关 键 词： | 微电容阵列 触觉传感器 寄生电容 MS3110P |
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