| X 射线超反射镜设计、制作与表征 |
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| 引用本文： | 王占山,王风丽,张众,程鑫彬,秦树基,陈玲燕.X 射线超反射镜设计、制作与表征[J].中国科学(G辑),2005,35(5):499-512. |
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| 作者姓名： | 王占山 王风丽 张众 程鑫彬 秦树基 陈玲燕 |
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| 作者单位： | 同济大学精密光学工程技术研究所,同济大学物理系,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（批准号：60178023）和上海市科技发展基金项目（批准号：0352nm090）资助 |
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| 摘 要： | 探讨了 X 射线波段超反射镜的设计, 采用了周期膜堆作初始条件加单纯形局域优化和模拟退火全局优化方法, 设计了工作能量为Cu的Kα(8.0 keV)线的不同掠入射角和不同角度带宽的宽角度X射线超反射镜和8~25 keV范围内不同掠入射角和不同能量带宽的宽带X射线超反射镜. 同时, 还系统研究了非周期多层膜超反射镜的制备工艺, 解决了多层膜制备过程中遇到的一些工艺性问题和精确定标的问题, 进行了不同膜层材料对组合的超反射镜制备实验, 成功制备了相应的多层膜样品. 利用高分辨率X射线衍射仪测量了样品的反射率, 所得结果与设计值基本相符.
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| 关 键 词： | 超反射镜 磁控溅射 多层膜 反射率 X射线 |
| 收稿时间： | 2005-02-28 |
| 修稿时间： | 2005-02-282005-07-26 |
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