| 微晶硅膜MIS结构光位敏探测器的研制 |
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| 引用本文： | 杜开瑛 董会宁. 微晶硅膜MIS结构光位敏探测器的研制[J]. 四川大学学报(自然科学版), 1995, 32(6): 653-657 |
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| 作者姓名： | 杜开瑛 董会宁 |
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| 摘 要： | 采用快速退火工艺，促使非晶硅膜固相晶化，获得具备器件质量的微晶硅膜，以此晶化膜作基本材料，采取侧向光伏效应的工作模式，以金属－绝缘体－半导体（ＭＩＳ）结构成功地研制出了一维微晶硅膜的光位敏探测器，实验结果表明，该器件具有非晶硅器件与晶体硅器件互补兼容特色。
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| 关 键 词： | 非晶硅 快速热退火 微晶硅 光位敏探测器 |
THE STUDY AND PREPARATION OF LIGHT POSITION -SENSITIVE DETECTOR WITH STRUCTURE MADE FROM MICRO-CRYSTALLIZED SILICON FILMS |
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| Du Kaiying Dong Huining Xie Maonong. THE STUDY AND PREPARATION OF LIGHT POSITION -SENSITIVE DETECTOR WITH STRUCTURE MADE FROM MICRO-CRYSTALLIZED SILICON FILMS[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 1995, 32(6): 653-657 |
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| Authors: | Du Kaiying Dong Huining Xie Maonong |
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| Affiliation: | Department of Physics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | amorphous silicon rapid annealing microcrystal silicon light position sensitivedetector |
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