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常压化学气相淀积非晶态硅薄膜的光电特性研究

引用本文：	王永兴,何笑明.常压化学气相淀积非晶态硅薄膜的光电特性研究[J].华中理工大学学报,1990,18(3):93-96.

作者姓名：	王永兴何笑明

摘要：
关键词：	薄膜非晶态硅电导率气相淀积
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