| 基于机器人技术控制大口径光学表面中频误差的方法 |
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| 引用本文： | 雷存栋.基于机器人技术控制大口径光学表面中频误差的方法[J].科学技术与工程,2014,14(25). |
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| 作者姓名： | 雷存栋 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理研究所,上海200083;长春理工大学光电工程学院,长春130022
2. 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
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| 基金项目： | 中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(Y1K4B000G0) |
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| 摘 要： | 在分析中频误差形成原因的基础上,按照人工均匀修抛的工艺,提出了基于机器人技术控制大口径光学表面中频误差的方法,建立了机器人抛光的数学模型,研制了机器人加工工具。利用机器人对大口径光学表面进行了抛光实验,实验结果表明功率谱密度(power spectral density,PSD)明显减小,在0.2 mm-1处的值由24.15 nm2·mm降到2.61 nm2·mm,说明机器人抛光方法行之有效。
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| 关 键 词： | 机器人 大口径 非球面 中频误差 功率谱密度 |
| 收稿时间： | 4/3/2014 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 5/9/2014 12:00:00 AM |
A method for controlling mid-spatial frequency errors in big aperture optical surface base on robot technology |
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| lei cun dong.A method for controlling mid-spatial frequency errors in big aperture optical surface base on robot technology[J].Science Technology and Engineering,2014,14(25). |
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| Authors: | lei cun dong |
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| Abstract: | Base on analyzing causes of forming mid-spatial frequency errors, according to the polish theory of uniform removal of the surface material, a method for controlling mid-spatial frequency errors in big aperture optical surface base on robot technology is proposed, the mathematical model and working tool of robot were established. A robot polishing experiment was dong on a big aperture optical surface, the experimental result indicates that the PSD value decreased radically, the PSD value of 0.2mm-1 frequency errors decreases from 24.15nm2mm to 2.61 nm2mm, the Experiment proves that the method of robot polishing is feasible. |
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| Keywords: | robot big aperture aspheric mirror mid-spatial frequency error |
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