| 介质层对真空微电子三极管特性的影响研究 |
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| 引用本文： | 薛晋惠 曾葆青. 介质层对真空微电子三极管特性的影响研究[J]. 西华师范大学学报(哲学社会科学版), 2003, 24(2): 196-199 |
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| 作者姓名： | 薛晋惠 曾葆青 |
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| 作者单位： | [1]川北医学院物理教研室四川南充637007 [2]电于科技大学物理电子学院四川成都610054 |
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| 摘 要： | 用粒子模拟程序MACIC模拟了真空微电子三极管的电子学特性，其发射电流由Folwer-Nordheim公式得出．研究了栅极与阴极间介质层对电子发射特性的影响，发现介质层的位置对发射特性有较大的影响．对一个典型结构真空微电子三极管的模拟结果表明，当介质孔半径从0．4μm增加到2．0μm时，发射电流将从0．198μA减小到0．115μA，前人的研究工作中常常忽略了介质层对电子发射特性的影内．同时还得到了电流—电压特性和电子轨迹图等模拟结果．
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| 关 键 词： | 真空微电子三极管 介质层 电子学特性 粒子模拟程序 发射电流 发射特性 |
| 文章编号： | 1001-8220(2003)02-0196-04 |
| 修稿时间： | 2003-01-07 |
Studies on the Influence of the Dielectric Layer on the Characterization of Vacuum Microelectronic Triode |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | dielectric layer vacuum microelectronic triode particle-in-cell simulation |
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