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| 微加工技术与微光机电系统的研究与应用 | |
| 引用本文： | 陈迪,赵旭. 微加工技术与微光机电系统的研究与应用[J]. 世界科技研究与发展, 2001, 23(2): 53-56 |
| 作者姓名： | 陈迪 赵旭 |
| 作者单位： | 上海交通大学,上海,200030 |
| 摘 要： | 本文简要介绍了微光机电系统（MOEMS）中的微加工技术，主要是硅微机械加工技术和LIGA技术，并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车工业、生物医学、航空航天、国防军事等领域的应用。 |
| 关 键 词： | 微光机电系统 微加工技术 MOEMS LIGA技术 硅微机械加工技术 |
Microfabrication Technique and Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems |
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