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| 非球面纳米精度可控柔体制造技术 | |
| 作者姓名： | 周港 郭双鹏 石峰 翟德德 铁贵鹏 彭星 田野 谢凌波 王博 朱喆 |
| 作者单位： | 1. 国防科技大学智能科学学院;2. 湖南省超精密加工技术重点实验室;3. 国防科技大学装备综合保障技术重点实验室 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:52105495,62175259)；;国家重点研发计划(编号:2020YFB2007504)；;中国科学院战略性先导科技专项(编号:XDA25020317)资助项目； |
| 摘 要： | 非球面被广泛应用于光学系统,其可被用来整形像差,改善画质,同时使光学系统更为紧凑,要求其具有纳米级面形精度与低吸收光学性质.目前超精密制造过程中,以恒定的去除函数解算面形误差,而光学表面误差分布复杂,针对不同频段与高度误差需迭代多次.针对这一问题,本研究团队提出了可控柔体制造技术,即去除函数随不同误差分布可控改变.本团队基于该理念,将传统连续出射的离子束可控离散,实现脉冲离子束超高分辨修形,并用于表面原子结构的光学性质调控,同时对于中频误差,以去除函数主动可控旋转的方式实现亚纳米级中频抑制技术,最后以大口径单晶硅为例,使用子孔径拼接技术完成了大口径非球柱面反射镜测量,实现了非球面镜的纳米精度可控柔体制造.本文结合本研究团队近几年的最新研究成果,总结了非球面可控柔体制造技术,通过探讨其发展现状,为非球面镜的纳米制造技术的发展提供参考. |
| 关 键 词： | 纳米精度制造 非球面 超精密制造 可控柔体制造 |