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基于无掩模光刻的生物透镜阵列组装方法
引用本文:寮欣,于海波,葛治星,张天尧,仲亚,刘斌,刘连庆.基于无掩模光刻的生物透镜阵列组装方法[J].中国科学:信息科学,2023(4):536-546.
作者姓名:寮欣  于海波  葛治星  张天尧  仲亚  刘斌  刘连庆
作者单位:1. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室;2. 中国科学院机器人与智能制造创新研究院;3. 中国科学院大学
基金项目:国家自然科学基金(批准号:61727811)资助项目;
摘    要:在微纳光学领域,透明的介质微球和活体生物细胞都因具备光学成像能力,而受到研究者越来越多的关注.然而,由于其尺寸和生物活性限制,很难将它们直接集成到光学系统上.基于光镊、声镊等多物理场方法虽然可以操作微球和细胞用于成像,但是对成像样本往往有特殊的要求.为此,本文提出了基于无掩模光刻的微球/细胞透镜阵列模块制备方法.利用自然沉降原理,分别将SiO2微球和MCF-7细胞组装在水凝胶微孔阵列模块上形成微透镜阵列.实验和仿真结果表明,嵌入在水凝胶中的SiO2微球阵列仍然保持其超分辨成像能力, MCF-7细胞可实现图像的放大.由于是阵列化成像,因此能够获得比单个微球或细胞更大的观测视野.本文所提出的模块化成像方法,有望应用于生物光子器件及在体光学成像领域.

关 键 词:生物透镜  无掩模光刻  细胞透镜  光学成像  超分辨
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