| 光学级透明金刚石膜的性 |
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| 引用本文： | 赵利军,韩柏,李博,胡小颖. 光学级透明金刚石膜的性[J]. 吉林大学学报(理学版), 2008, 46(1): 112-114 |
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| 作者姓名： | 赵利军 韩柏 李博 胡小颖 |
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| 作者单位： | 1. 长春大学 特殊教育学院, 长春130022; 2. 哈尔滨理工大学 理学院, 哈尔滨 150040; 3. 吉林大学 原子与分子物理研究所, 长春 130012; 4. 长春大学 理学院, 长春 130022 |
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| 基金项目： | 国家863计划项目基金（批准号：2002AA325090）. |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜, 利用傅里叶红外分光光度计和紫外-可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可见光波段的透过率, 并分析了测试结果.
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| 关 键 词： | 光学级透明金刚石膜 红外光透过率 紫外-可见光波段透过率 |
| 文章编号： | 1671-5489（2008）01-0112-03 |
| 收稿时间： | 2007-01-28 |
| 修稿时间： | 2007-01-28 |
Properties of Optical-grade Transparent Diamond Film |
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| ZHAO Li-jun,HAN Bai,LI Bo,HU Xiao-ying. Properties of Optical-grade Transparent Diamond Film[J]. Journal of Jilin University: Sci Ed, 2008, 46(1): 112-114 |
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| Authors: | ZHAO Li-jun HAN Bai LI Bo HU Xiao-ying |
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| Affiliation: | 1. College of Special Education, Changchun University, Changchun 130022, China; 2. College of Science, Harbin University of Science and Technology, Harbin 150040, China;3. Institute of Atomic and Molecular Physics, Jilin University, Changchun 130012, China; 4. College of Science, Changchun University, Changchun 130022, China |
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| Abstract: | Microwave plasma chemical vapor deposition (MWPCVD) technique, as an electrodeless discharge and clean method, was adopted to prepare optical-grade transparent diamond films on single-crystal silicon substrates. And in order to understand their optical properties in detail, Fourier transform infrared (FTIR) spectrophotometer and ultraviolet-visible (UV-vis) spectrophotometer were employed to analyze their optical transmittance in IR region and UV region, respectively. |
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| Keywords: | optical-grade transparent diamond film IR transmittance UV-vis transmittance |
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